나노 소자 설계용 다차원 가상 실험 장치 및 그 방법

Title
나노 소자 설계용 다차원 가상 실험 장치 및 그 방법
Authors
김규봉김병현김승철김찬수이광렬이민호
Issue Date
2012-12-21
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
나노 소자 설계용 가상 실험 장치 및 그 방법이 개시된다. 나노 소자 설계를 위한 가상실험물질을 결정하는 가상시편결정부; 가상시편결정부에서 결정된 가상실험물질에 하나 이상의 공정을 적용하는 가상공정실험부; 및 가상공정실험부에서 가상실험물질에 적용된 각각의 공정 결과를 분석하는 가상공정분석부를 포함하는, 나노 소자 설계용 가상 실험 장치가 개시된다. 가상공정분석부는, 공정 결과를 하나 이상의 입자수준을 기준으로 분석하는 다수준분석부를 더 포함하는 나노 소자 설계용 가상 실험 장치가 개시된다.
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KIST Patent > 2012
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